中科飞测位于观澜街道银星科技园。

中科飞测无图形晶圆缺陷检测设备。

2023年，龙华区企业深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”），凭借其在无图形晶圆缺陷检测设备的突破性创新，成功上榜当年广东省制造业单项冠军企业。这一成就不仅展示了中科飞测在半导体检测设备领域的领先地位，也彰显了龙华区制造业在技术创新和产业升级方面的卓越成就。随着龙华区制造业的不断进步，中科飞测等企业将继续引领行业向前发展，为深圳乃至全国的制造业贡献更大的创新力量，推动中国制造业向更高水平的国际竞争迈进。

多项关键核心技术突破海外垄断

中科飞测成立于2014年，始终专注于高端半导体质量控制设备的研发和产业化，在多项关键核心技术上持续突破海外垄断，目前已成为我国高端半导体质量控制设备领域的头部企业。

“自2015年公司成立的第一年起，我们便踏上了快速发展的道路。经过近十年的不懈努力，中科飞测在产品多样性、客户覆盖度、技术先进性、营收规模以及研发投入等方面，均已在国内半导体质量控制设备行业中稳居龙头地位。”中科飞测董事会秘书古凯男说。

成长之路并非一帆风顺，据介绍，中科飞测在创立之初就面临巨大挑战，其中既包括产业界对国产检测和量测设备发展的怀疑，也包括资本市场对这一领域的关注不足。然而，凭借初创团队的团结和对创新的坚持，公司成功克服了这些困难。2017年，公司设备通过中芯国际的验证，标志着公司开始进入增长阶段。到2019年，中科飞测迎来了营收的快速翻倍增长，展现了其在半导体设备领域的强大竞争力和发展潜力。

目前，中科飞测的产品线涵盖设备线和智能软件产品线，实现了软硬件的深度融合。公司提供的不仅是高质量的检测和量测设备，更通过智能软件为客户提供从设备端到数据分析端的全流程质量控制服务，助力客户提升生产效率和产品质量，推动半导体产业的持续进步和创新。

被问及选择半导体这一赛道的原因时，古凯男表示：“半导体产业是国家的战略性产业，对国家经济发展和技术跨越式进步具有深远的影响。半导体检测和量测设备贯穿集成电路制造过程中的关键环节，直接影响到产品的良率和质量控制，市场前景广阔，技术创新空间巨大。中科飞测希望通过聚集一批行业内尖端技术人才，推动国内集成电路产业在检测和量测设备领域的自主可控。”

国产无图形晶圆缺陷检测设备打破技术壁垒

凭借王牌产品“无图形晶圆缺陷检测设备”，中科飞测成功上榜广东省制造业单项冠军企业。古凯男阐释了研发这一关键设备的初衷：“中科飞测立志通过自主研发开辟独立发展新路径，打破国内无图形晶圆缺陷检测设备长期被海外垄断的局面，大力推动国内半导体产业链在无图形晶圆缺陷检测设备领域的自主可控。”

集成电路设备需要不断迭代，以满足更先进的性能需求。“就像手机芯片从28纳米发展到14纳米，再到7纳米一样，中科飞测的设备也在不断通过迭代升级来满足客户的需求。”古凯男形象地比喻说。2017年，中科飞测第一代无图形晶圆缺陷检测设备通过中芯国际验收；2021年，第二代产品通过国家科技重大专项验收，产品性能均可对标国际龙头产品。目前，公司该产品的灵敏度和吞吐量可以满足国内所有工艺制程客户的量产需求。

不断打破海外垄断，与中科飞测对研发的重视密不可分。据悉，该公司研发团队核心成员来自中科院微电子所、清华大学、中国科学技术大学等国际知名研究机构，拥有丰富的半导体设备设计、研发与生产经验。而随着公司近年来在核心技术上的持续突破，也不断吸引着光学、算法、软件、机电自动化等领域的海内外知名院校专业人才加入，目前公司硕士研究生及以上学历的研发人员占比接近50%，构筑起了跨专业、多层次的人才梯队。

继续塑造国内产业全球竞争力

据悉，目前中国大陆不仅是全球最大的半导体市场，也是半导体设备的重要市场。在全球半导体产业快速发展的大背景下，国内半导体质量控制设备行业的国产化率尚不足10%，对于国内厂商来说，这意味着还有超过90%的潜在市场空间有待开发。随着人工智能和新能源的不断进步，半导体质量控制设备的整体市场空间预计将继续保持高速增长态势。

中科飞测的应对策略是迅速增强企业的整体实力和市场适应性，这包括加速关键设备的研发，确保产品能够不断向更高端工艺演进，满足客户需求；同时，努力实现产品线的全面覆盖，避免产品种类上的空白。

在供应链管理方面，古凯男介绍，中科飞测采取了灵活的动态管理策略：“我们拥有一支经验丰富的供应链团队，他们能够洞察全球形势，及时调整零部件的采购来源和供应商策略，以预防和应对可能的贸易摩擦。”

展望未来，中科飞测将继续坚持创新驱动发展战略，不断扩展和丰富产品线，推进高端设备的研发和产业化进程。同时，公司也将积极向海外市场拓展，以提升中科飞测在全球市场的占有率和品牌影响力。

谈及中科飞测的飞速发展，古凯男认为深圳市和龙华区优越的创业环境和条件，为中科飞测注入了强劲的动力。他表示，在产业环境构建上，深圳聚集了深创投、哈勃投资等一批具有前瞻性的产业投资力量，他们不仅为中科飞测注入了充裕的资金动力，更带来了丰富的产业资源和深度的战略协同，为公司的持续创新和跨越式发展提供了坚实的支撑。此外，深圳不遗余力地推动集成电路产业集群成长，为中科飞测带来了丰富的上下游合作资源。深圳及其周边地区汇集了众多杰出的半导体零部件供应商，同时，芯片制造业的领军企业，如中芯国际等，也选择在深圳扎根，为中科飞测的业务发展构建了有力的生态闭环。人才资源则是深圳市的另一大优势，深圳拥有众多高校和研究机构，持续吸引着高端人才流入，为中科飞测提供了接触前沿科技资源和人才库的便捷途径。

此外，在政策支持层面，深圳市和龙华区对孔雀团队的配套支持、研发补贴、人才住房补贴以及人才公租房等优惠政策，为中科飞测提供了稳定的研发资金和人才投入保障。这些政策丰富且及时，极大地促进了公司的技术创新，提升了公司的市场竞争力。

龙华新闻记者 金璐 文/图